Главная

Базы данных


Электронный каталог- результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Краеведческий каталог
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Гаврилов, Сергей Александрович$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 24/Г 12
Автор(ы) : Гаврилов, Сергей Александрович (д-р техн. наук, электроника), Белов, Алексей Николаевич
Заглавие : Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие: для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)"
Выходные данные : Москва: Высшее образование, 2009 [т.е. 2008] (Архангельск)
Колич.характеристики :257 с.: ил., табл., граф.; 21
Серия: Приоритетные национальные проекты. Образование .
    Учебно-методическое объединение рекомендует .
    Высшее образование. Основы наук
Примечания : Библиогр.: с. 256-247 (26 назв.). - На 4-й с. обл. авт.: Гаврилов С.А. - д.т.н., проф., Белов А.Н. - к.т.н., доц.Кн. фактически издана в 2008 г.
ISBN, Цена 978-5-9692-0304-4: 120.00 р.
ББК : 24.57я73
Содержание : Законы и положения теории электродных процессов ; Процессы анодного растворения в технологии микро- и наноструктур ; Анодные оксидные пленки в технологии полупроводников и твердотельных наноструктур ; Катодное осаждение в технологии микро- и наноструктур
Аннотация: Пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС), процессов формирования барьерных и пористых оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии ультрабольших интегральных схем (УБИС), МЭМС и нанотехнологии.
Экземпляры :Аб(1)
Свободны : Аб(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)